Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления
Тема:
Датчики
УДК:
621.382
Посилання:
Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления / С.А. Адарчин, А.С. Кужненков, Л.В. Кожитов, В.Г. Косушкин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 55-57. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
Дата:
2002
Переглядів:
782
Завантажень:
459
Анотація:
Установлен механизм деградации и возникновения отказов микроэлектромеханических структур датчиков давления. Предложена математическая модель изменения величины температурного гистерезиса выходного сигнала датчиков, установлена степень его влияния на надежность приборов. Предложены способы уменьшения величины и снижения скорости возрастания гистерезиса выходного сигнала микроэлектромеханических структур.
