Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах
Тема:
Проектирование. Конструирование
УДК:
621.382
Посилання:
Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах / Ф.Д. Касимов, А.Э. Лютфалибекова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 13-14. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
Дата:
2002
Переглядів:
856
Завантажень:
1000
Анотація:
Проведен математический расчет упругих механических напряжений в двухслойных структурах с отличающимися упругими постоянными пленки и подложки. Выведена формула, показывающая, что возникающие в пленке механические напряжения пропорциональны ее толщине и температуре осаждения и обратно пропорциональны толщине подложки.
