Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах

dc.contributor.author	Касимов, Ф.Д.
dc.contributor.author	Лютфалибекова, А.Э.
dc.date.accessioned	2014-11-11T19:51:04Z
dc.date.available	2014-11-11T19:51:04Z
dc.date.issued	2002
dc.identifier.citation	Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах / Ф.Д. Касимов, А.Э. Лютфалибекова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 13-14. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70736
dc.description.abstract	Проведен математический расчет упругих механических напряжений в двухслойных структурах с отличающимися упругими постоянными пленки и подложки. Выведена формула, показывающая, что возникающие в пленке механические напряжения пропорциональны ее толщине и температуре осаждения и обратно пропорциональны толщине подложки.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Проектирование. Конструирование	uk_UA
dc.title	Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	621.382