Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства

Abstract

Исследуются пленки диоксида олова, получаемые методом магнетронного распыления на постоянном токе. Приведены результаты исследований изменения фазового состава и электрической проводимости пленок оксида олова полученных при температурах осаждения (150—350) °С при проведении последующего отжига на воздухе при температуре 500 °С на протяжении 1 часа.

Досліджуються плівки діоксиду олова, що отримуються методом магнетронного розпилення на постійному струмі. Наведені результати досліджень зміни фазового складу і електричної провідності плівок оксиду олова, отриманих при температурах осадження (150—350) °С при проведенні подальшого відпалу на повітрі при температурі 500 °С на протязі 1 години.

The magnetron sputtering by direct current tin dioxide thin films are investigated. Results over of researches of change of phase composition and electric conductivity of tin oxide thin film obtained by temperature substrate (150—350) °С during subsequent annealing on air at the temperature of 500 °С on the during 1 hour are given.