Тип видання: Международный научный журнал Засновники:Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна МОН України, Науковий фізико-технологічний центр НАН України, Концерн “Центр нових технологій”, Харківський фізико-технічний інститут, ЗАТ “Центр науково-технічних досліджень” Проблематика: Фізика поверхні; взаємодія різноманітних видів випромінювання з поверхнями металів, напівпровідників, діелектриків; фізика і техніка низькотемпературної плазми; фізика і техніка лазерів; фізичні властивості плівок і покриттів; нанофізика, мікро- і нанотехнології, мікро- і наноелектроніка; фізичні та технічні аспекти сучасних технологій обробки поверхні, діагностики і контролю технологічних процесів.