Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення фізики і астрономії
→
Физическая инженерия поверхности
→
Физическая инженерия поверхности, 2014 (том 12)
→
Физическая инженерия поверхности, 2014, № 3
→
Переглянути статтю

dc.contributor.author	Хрипунов, Г.С.
dc.contributor.author	Пирогов, А.В.
dc.contributor.author	Новиков, В.А.
dc.date.accessioned	2016-11-05T17:39:37Z
dc.date.available	2016-11-05T17:39:37Z
dc.date.issued	2014
dc.identifier.citation	Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства / Г.С. Хрипунов, А.В. Пирогов, В.А. Новиков // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 3. — С. 329-337. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	1999-8074
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108474
dc.description.abstract	Исследуются пленки диоксида олова, получаемые методом магнетронного распыления на постоянном токе. Приведены результаты исследований изменения фазового состава и электрической проводимости пленок оксида олова полученных при температурах осаждения (150—350) °С при проведении последующего отжига на воздухе при температуре 500 °С на протяжении 1 часа.	uk_UA
dc.description.abstract	Досліджуються плівки діоксиду олова, що отримуються методом магнетронного розпилення на постійному струмі. Наведені результати досліджень зміни фазового складу і електричної провідності плівок оксиду олова, отриманих при температурах осадження (150—350) °С при проведенні подальшого відпалу на повітрі при температурі 500 °С на протязі 1 години.	uk_UA
dc.description.abstract	The magnetron sputtering by direct current tin dioxide thin films are investigated. Results over of researches of change of phase composition and electric conductivity of tin oxide thin film obtained by temperature substrate (150—350) °С during subsequent annealing on air at the temperature of 500 °С on the during 1 hour are given.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Физическая инженерия поверхности
dc.title	Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства	uk_UA
dc.title.alternative	Вплив термічноактивованих структурних перетворень у плівках діоксиду олова на їх електричні властивості	uk_UA
dc.title.alternative	Influence of the thermally activated structural converting in the tin dioxide thin film on their electric properties	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	621.762.214