ЗМІСТ

Фаренік В.І.
Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях

Дудин С.В.
Исследования и разработка технологических систем на базе ВЧ индукционного разряда для реактивного ионно-плазменного травления микро- и наноструктур

Зиков О.В., Яковін С.Д., Дудін С.В.
Синтез діелектричних сполук на базі магнетрону постійного струму

Лисовский В.А., Харченко Н.Д.
Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF₆

Стервоедов А.Н.
Распределение химического состава по глубине в пленках Cr-O-N, полученных методом ионно-стимулированного осаждения

Белоус В.А., Васильев В.В., Лучанинов А.А., Решетняк Е.Н., Стрельницкий В.Е., Толмачева Г.Н., Голтвяница В.С., Голтвяница С.К.
Твердые покрытия Ti-Al-N, осажденные из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы

Хороших В.М., Белоус В.А.
Пленки диоксида титана для фотокатализа и медицины

Погребняк А.Д., Береснев В.М., Levintant N., Маликов Л.В., Братушка С.Н., Ердыбаева Н.К.
Cтруктурно-фазовые изменения в приповерхностных слоях титанового сплава TiNi, после ионной имплантации

Долгов А.С., Стеценко Н.В.
Релаксационные перестройки моноатомных слоев на поверхности

Ёдгорова Д.М., Каримов А.В., Камонов Б.М., Якубов Э.Н.
Tрехбарьерные фотодиоды на основе соединений арсенида галлия для оптических систем связи

Ткач О.П., Однодворець Л.В., Nepijko S., Проценко С.І.
Магніторезистивні властивості нанорозмірних плівкових систем на основі Fe і Pd

Тюрин Ю.Н., Кульков С.Н., Колисниченко О.В., Дуда И.М.
Импульсноплазменное модифицирование поверхности изделия из сплава WC + 20%Cо

Хороших В.М., Леонов С.А.
О характере влияния различных газов на процесс конденсации покрытий из плазмы вакуумной дуги

Азаренков Н.А., Орлов В.Д., Слипченко Н.И., Удовицкий В.Г., Фареник В.И.
Обучение и подготовка кадров в области нанотехнологий и использование при этом научного наследия