Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Использование эффекта Кирлиан для контроля качества полупроводниковых пластин
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Использование эффекта Кирлиан для контроля качества полупроводниковых пластин
Інші назви:
Використання ефекту Кірліан для контроля якості напівпровідникових пластин
The use of Kirlian effect for control of semiconductor wafer
The use of Kirlian effect for control of semiconductor wafer
УДК:
Качество и надежность аппаратуры
Посилання:
Использование эффекта Кирлиан для контроля качества полупроводниковых пластин / Ю.Г. Добровольский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 5-6. — С. 22-24. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
Дата:
1999
Переглядів:
639
Завантажень:
432
