Представлен обзор литературы, посвященной синтезу нанокристаллических алмазных пленок
методом газофазного химического осаждения. Обсуждаются основные приемы, которые позволяют ограничивать размер зерен растущих кристаллитов в алмазных пленках. К ним можно
отнести предварительную обработку поверхности подложки, изменение состава рабочего газа
и подачу потенциала смещения на подложку. Рассмотрены особенности структуры и свойств
нанокристаллических алмазных пленок и перспективы их использования в различных областях
науки и техники.
Наведено огляд літератури, що присвячена синтезу нанокристалічних алмазних плівок методом
газофазного хімічного осадження. Обговорюються основні прийоми, які дозволяють обмежувати розмір зерен зростаючих кристалітів в алмазних плівках. До них можна віднести попередню обробку поверхні підкладки, зміну складу робочого газу та подачу потенціалу зміщення на підкладку. Розглянуто особливості структури й властивостей наноструктурних алмазних плівок і перспективи їх використання у різних галузях науки та техніки.
The review of the literature data devoted to manufacture of CVD-nanocrystalline diamond films have
been performed. The basic technological processes that allow limiting the size of growing diamond
crystallites (pretreatment of a substrate surface, change of working gas species and use of substrate
bias potential) were discussed. Structure, properties, future prospects of nanocrystalline diamond
film application in various areas of science and engineering was given.
