Травление поверхности металлов в плазме аргона

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення фізики і астрономії
→
Физическая инженерия поверхности
→
Физическая инженерия поверхности, 2007 (том 5)
→
Физическая инженерия поверхности, 2007, № 1-2
→
Переглянути статтю

Травление поверхности металлов в плазме аргона

Капустин, В.Л. ; Корж, А.Ф. ; Широков, Б.М.

Інші назви: Травлення поверхні металів у плазмі аргону
Pickling to surfaces of metal in plasma of the argon

УДК: 621.793.14

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98811

Посилання: Травление поверхности металлов в плазме аргона / В.Л. Капустин, А.Ф. Корж, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 84–86. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Дата: 2007

Завантажень: 344

Травление поверхности металлов в плазме аргона

Анотація:

Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном индукционном раз ряде аргона. Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали Х18Н10Т от давления в камере, вкладываемой в разряд мощности, потенциала на подложке.

Досліджено процес обробки поверхні металів в несамостійнім індукційнім розряді аргону. Визначена залежність швидкості травлення Мо, W, Та, сталі Х18Н10Т від тиску в камері, вкладеної у розряд потужності потенціалу на підкладинці.

The treatment process of a metals surface in the dependent high-frequency induction discharge of argon is investigated. The dependenct of an etching velocity of Mo, W, Ta, and steel O18I10O from a chamber pressure in the induction discharge power and a potential on substrate is determined.

Показати повний запис статті