Нанокристаллические покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом с использованием ВЧ напряжения

Abstract

Показана возможность формирования нанокристаллических покрытий вакуумно-дуговым методом с использованием ВЧ напряжения. Изучены свойства покрытий ZrN, (TiAl)N, а также NbN + Al₂O₃. Полученные нанокристаллические покрытия (TiAl)N с содержанием Al 16 ат.% представляют собой однофазный раствор и имеют твердость 35 ГПа. Твердость покрытий ZrN, (TiAl)N не изменилась в течение 2-х месяцев.

Показана можливість формування нанокристалічних покриттів вакуумно-дуговим методом із застосуванням ВЧ напруги. Вивчено властивості покриттів ZrN, (TiAl)N, а також NbN + Al₂O₃. Отримані нанокристалічні покриття (TiAl)N з вмістом Al 16 % ат. є однофазним розчином і має твер-дість 35 ГПа. Твердість покриттів ZrN, (TiNAl)N не змінюється на протязі 2-х місяців.

The opportunity of formation nanocrystalline coatings by vacuum-arc method with usage of high frequency voltage was shown. Properties of ZrN, (TiAl)N, and also NbN + Al₂O₃ coatings were investigated. Received nanocrystalline (TiAl)N coatings with contents Al of 16% at. had single-phase solution and hardness 35 GPa. Hardness of ZrN, (TiNAl) N coatings has not changed during 2 months.