Формообразование металлического осадка в процессе лазерного пиролитического осаждения из газовой фазы на диэлектрическую положку

Abstract

Предложена математическая модель, учитывающая радиационный и конвективный теплообмен с поверхностью вещества в условиях лазерно-индуцированного осаждения тугоплавких металлов из газовой фазы на диэлектрическую подложку. Получены распределения температурного поля в осажденном веществе и скорости осаждения вещества в момент соприкосновения металлических частиц со свободной поверхностью. Предложено объяснение механизма формирования сложной формы поверхности осадка.

Запропонована математична модель, яка враховує радіаційний та конвективний теплообмін з поверхнею речовини в умовах лазерно-індукованого осадження тугоплавких металів із газової фази на діелектричну підкладку. Отримані розподіли температурного поля у осадженій речовині та швидкості осадження речовини у момент стикання металевих часток з вільною поверхнею. Запропоновано пояснення механізму формування складної форми поверхні осаду.

The mathematical model, considering radiation and convention heat exchange from surface of matter during laser-induced vapour deposition of refractory metals on dielectric substrate is offered. The distributions of the temperature field in the deposition matter and rate of besieging of matter in the moment of contact of metallic particles with free surface is found. The explanation of forming process of the compound form of sediment is proposed.