Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы

Abstract

Предложена математическая модель, учитывающая влияние лазерного излучения на распре¬деление температуры и формирование осадка тугоплавкого металла на диэлектрическую под¬ложку при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы. Модель учитывает параметры лазерного излучения для получения поверхностных структур с наперед заданными размерами и формой.

Запропонована математична модель, яка враховує вплив лазерного випромінювання на розподіл температури і формування осаду тугоплавкого металу на діелектричну підкладку при лазерно- індукованому піролізі з парової фази. Модель враховує параметри лазерного випромінювання для отримання поверхневих структур з наперед установленими розмірами і формою.

The mathematical model, which considers the effect of the laser radiation on the temperature dist¬ribution and shaping of sediment of refractory metal on dielectric substrate by pyrolysis LCVD is proposed. The model takes into account the parameters of laser radiation for obtaining surface structures with predetermined size and shape.