Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния

Abstract

Методом рентгеновского диффузного рассеяния на длине волны 0,154 нм проведено исследование шероховатости и перемешивания на границах раздела многослойных пленочных композиций Cr/Sc и Co/C с периодами ~ 5 – 7 нм, полученных методом магнетронного распыления. Исследовано влияние на структуру границ раздела композиций Co/C часового отжига в интервале температур 100 – 330 °С. Полученные статистические характеристики шероховатости границ раздела позволяют предсказать рентгенооптические характеристики многослойных композиций, применяемых в рентгеновской оптике в диапазоне длин волн 3 – 5 нм.

Методом рентгенівського дифузного розсіювання на довжині хвилі 0,154 нм проведено дослідження шорсткості та перемішування на межах поділу багатошарових плівкових композицій Cr/Sc та Co/C із періодами ~ 5 – 7 нм, отриманих методом магнетронного розпилення при постійному струмі. Досліджений вплив на структуру меж поділу композицій Co/C годинного відпалу в інтервалі температур 100 – 330 °С. Отримані статистичні характеристики шорсткості меж поділу дозволяють передбачити рентгенооптичні характеристики багатошарових композицій, що використовуються у рентгенівській оптиці у діапазоні довжин хвиль 3 – 5 нм.

Study of the interface roughness and diffuseness of the Cr/Sc and Co/C multilayer with ~ 5 – 7 nm the periods on 0,154 wavelength obtained by DC magnetron sputtering has been conducted by X-ray diffuse scattering method. Influence of hour time annealing in 100 – 330 °С temperature range on the Co/C interface structure has been established. Obtained statistical characteristics of interface roughness are useful to forecast X-ray optic characteristics of multilayers using in X-ray optics in 3 – 5 nm wavelength range.