Отримання надграток рor-InP/mono-InP шляхом електрохімічного травління

Abstract

В даній роботі продемонстровано можливість отримання надграток фосфіду індію, що складаються з шарів монокристалічного та поруватого матеріалу. Дослідження морфології даних структур дозволило зробити якісний аналіз процесу утворення рor-InP/mono-InP. Принципово важливим результатом є утворення шарів по всій товщині кристалу.

В данной работе продемонстрировано возможность получения сверхрешеток фосфида индия, которые состоят из слоев монокристаллического и пористого материала. Исследование морфологии данных структур позволило сделать качественный анализ процесса получения рor-InP/mono-InP. Принципиально важным результатом является получение слоев по всей толщине кристалла.

In this paper the ability of obtaining InP supertattices, which are composed from layers of monocrystal porous substrate, was demostrated. Investigation of the morphology of this structures allowed to make good analysis of the porous-InP/mono-InP obtain. Fundamentally important result is obtain of the InP superlattice through the entire thickness.