Моделирование процессов фотолитографии  на суперкомпьютере СКИФ К-1000

Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000

Дудкин, А.А. ; Инютин, А.В. ; Отвагин, А.В.

Інші назви: Моделювання процесів фотолітографії на суперкомп’ютері СКІФ К-1000
Modelling of the Photolithography Processes on Supercomputer SKIF К-1000

Тема: Распознавание образов. Системы цифровой обработки сигналов и изображений

УДК: 535.317:004.22

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7477

Посилання: Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000 / А.А. Дудкин, А.В. Инютин, А.В. Отвагин // Штучний інтелект. — 2008. — № 4. — С. 348-352. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Дата: 2008

Завантажень: 1285

Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000

Анотація:

Разработана параллельная реализация моделирования процессов фотолитографии для применения на суперкомпьютере СКИФ К-1000. Использование параллельных средств вычисления позволило получить хорошие результаты по ускорению процесса формирования изображения в слое фоторезиста и последующего автоматического контроля оригиналов топологии.

Розроблена паралельна реалізація моделювання процесів фотолітографії для застосування на суперкомп’ютері СКІФ К-1000. Використання паралельних засобів обчислення дозволило одержати добрі результати з прискорення процесу формування зображення в шарі фоторезиста і подальшого автоматичного контролю оригіналів топології.

The parallel realization of modeling of photolithography processes was developed for application on supercomputer SKIF К-1000. Parallel means of calculation have allowed accelerating of image generation process in a photoresist layer and the subsequent automatic mask inspection.

Показати повний запис статті