Моделирование процессов фотолитографии  на суперкомпьютере СКИФ К-1000

dc.contributor.author	Дудкин, А.А.
dc.contributor.author	Инютин, А.В.
dc.contributor.author	Отвагин, А.В.
dc.date.accessioned	2010-03-31T15:14:38Z
dc.date.available	2010-03-31T15:14:38Z
dc.date.issued	2008
dc.identifier.citation	Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000 / А.А. Дудкин, А.В. Инютин, А.В. Отвагин // Штучний інтелект. — 2008. — № 4. — С. 348-352. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	1561-5359
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7477
dc.description.abstract	Разработана параллельная реализация моделирования процессов фотолитографии для применения на суперкомпьютере СКИФ К-1000. Использование параллельных средств вычисления позволило получить хорошие результаты по ускорению процесса формирования изображения в слое фоторезиста и последующего автоматического контроля оригиналов топологии.	uk_UA
dc.description.abstract	Розроблена паралельна реалізація моделювання процесів фотолітографії для застосування на суперкомп’ютері СКІФ К-1000. Використання паралельних засобів обчислення дозволило одержати добрі результати з прискорення процесу формування зображення в шарі фоторезиста і подальшого автоматичного контролю оригіналів топології.	uk_UA
dc.description.abstract	The parallel realization of modeling of photolithography processes was developed for application on supercomputer SKIF К-1000. Parallel means of calculation have allowed accelerating of image generation process in a photoresist layer and the subsequent automatic mask inspection.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут проблем штучного інтелекту МОН України та НАН України	uk_UA
dc.subject	Распознавание образов. Системы цифровой обработки сигналов и изображений	uk_UA
dc.title	Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000	uk_UA
dc.title.alternative	Моделювання процесів фотолітографії на суперкомп’ютері СКІФ К-1000	uk_UA
dc.title.alternative	Modelling of the Photolithography Processes on Supercomputer SKIF К-1000	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	535.317:004.22