Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений
Тема:
Датчики
УДК:
621.316.826
Посилання:
Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений / Я.Ю. Гусейнов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 4-5. — С. 51-52. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
Дата:
2001
Переглядів:
862
Завантажень:
381
Анотація:
Разработаны магнито- и газочувствительные интегральные преобразователи с частотным выходом на базе пленок поликристаллического кремния, выращенных в едином технологическом цикле эпитаксиального наращивания монокристаллических пленок n-типа проводимости.
