Адарчин, С.А.; Кужненков, А.С.; Кожитов, Л.В.; Косушкин, В.Г.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2002)
Установлен механизм деградации и возникновения отказов микроэлектромеханических структур датчиков давления. Предложена математическая модель изменения величины температурного гистерезиса выходного сигнала датчиков, установлена ...