Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением

Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением

Иванчиков, А.Э. ; Кисель, А.М. ; Медведева, А.Б. ; Плебанович, В.И. ; Пономарь, В.Н. ; Шикуло, В.Е.

Тема: Технология производства

УДК: 537.311

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70699

Посилання: Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович, В.Н. Пономарь, В.Е. Шикуло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 46-60. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Дата: 2003

Завантажень: 1122

Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением

Анотація:

Рассмотрено формирование малоразмерных контактных окон методом плазмохимического травления и основные факторы образования полимерных остатков после травления. Изучен состав полимерных остатков и механизм их удаления химическими методами с использованием растворов PRX. Проведена косвенная оценка (по разбросу толщины диоксида кремния) термического метода удаления полимерных остатков, реализованного на операции "оплавление контактов".

Показати повний запис статті