Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением

dc.contributor.author	Иванчиков, А.Э.
dc.contributor.author	Кисель, А.М.
dc.contributor.author	Медведева, А.Б.
dc.contributor.author	Плебанович, В.И.
dc.contributor.author	Пономарь, В.Н.
dc.contributor.author	Шикуло, В.Е.
dc.date.accessioned	2014-11-11T06:45:54Z
dc.date.available	2014-11-11T06:45:54Z
dc.date.issued	2003
dc.identifier.citation	Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович, В.Н. Пономарь, В.Е. Шикуло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 46-60. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70699
dc.description.abstract	Рассмотрено формирование малоразмерных контактных окон методом плазмохимического травления и основные факторы образования полимерных остатков после травления. Изучен состав полимерных остатков и механизм их удаления химическими методами с использованием растворов PRX. Проведена косвенная оценка (по разбросу толщины диоксида кремния) термического метода удаления полимерных остатков, реализованного на операции "оплавление контактов".	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Технология производства	uk_UA
dc.title	Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	537.311