Турбин, П.В.; Береснев, В.М.; Швец, О.М.
(Физическая инженерия поверхности, 2006)
Показана возможность формирования нанокристаллических покрытий вакуумно-дуговым
методом с использованием ВЧ напряжения. Изучены свойства покрытий ZrN, (TiAl)N, а также
NbN + Al₂O₃. Полученные нанокристаллические покрытия ...