Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки
УДК:
621.382
Посилання:
Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки / А.І. Золот, О.М. Клочко // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2003. — № 2. — С. 126-129. — Бібліогр.: 4 назв. — укр.
Дата:
2003
Переглядів:
745
Завантажень:
457
Анотація:
Досліджені процеси іонізації та осадження металів і напівпровідників на площинну підкладку в області мікровістря скануючого тунельного літографа, зроблені оцінки продуктивності методу формування наноструктур для квантових елементів обчислювальної техніки.
