Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення інформатики
→
Комп’ютерні засоби, мережі та системи
→
Комп’ютерні засоби, мережі та системи, 2003
→
Комп’ютерні засоби, мережі та системи, 2003, № 2
→
Переглянути статтю

dc.contributor.author	Золот, А.І.
dc.contributor.author	Клочко, О.М.
dc.date.accessioned	2010-03-02T10:13:21Z
dc.date.available	2010-03-02T10:13:21Z
dc.date.issued	2003
dc.identifier.citation	Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки / А.І. Золот, О.М. Клочко // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2003. — № 2. — С. 126-129. — Бібліогр.: 4 назв. — укр.	uk_UA
dc.identifier.issn	1817-9908
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/6390
dc.description.abstract	Досліджені процеси іонізації та осадження металів і напівпровідників на площинну підкладку в області мікровістря скануючого тунельного літографа, зроблені оцінки продуктивності методу формування наноструктур для квантових елементів обчислювальної техніки.	uk_UA
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.publisher	Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України	uk_UA
dc.title	Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	621.382