Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента
Тема:
Получение, структура, свойства
УДК:
548.74:681.723:621.9.02
Посилання:
Применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента / О.Г. Лысенко // Сверхтвердые материалы. — 2009. — № 6. — С. 40-46. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.
Підтримка:
Автор выражает благодарность С. А. Ивахненко за предоставление легированных бором алмазов для изготовления острия зонда, В. И. Мицкевичу и А. В. Щербакову за содействие в получении представленных результатов.
Дата:
2009
Переглядів:
771
Завантажень:
647
Анотація:
Представлены экспериментальные результаты применения сканирующего зондового микроскопа для механической обработки поверхности с нанометровой разрешающей способностью. Особенностями прибора являются острие из легированного бором монокристалла алмаза и электромагнитная система измерения нановзаимодействия между острием и поверхностью образца. Продемонстрированы трехмерные изображения поверхности золота и кремния после операций наноочистки и наноцарапания. Обсуждены возможности использования алмазного наноинструмента для изготовления элементов наноэлектроники.
