Показати простий запис статті
dc.contributor.author |
Лысенко, О.Г. |
|
dc.date.accessioned |
2014-06-01T15:07:14Z |
|
dc.date.available |
2014-06-01T15:07:14Z |
|
dc.date.issued |
2009 |
|
dc.identifier.citation |
Применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента / О.Г. Лысенко // Сверхтвердые материалы. — 2009. — № 6. — С. 40-46. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
uk_UA |
dc.identifier.issn |
0203-3119 |
|
dc.identifier.uri |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/63425 |
|
dc.description.abstract |
Представлены экспериментальные результаты применения сканирующего зондового микроскопа для механической обработки поверхности с нанометровой разрешающей способностью. Особенностями прибора являются острие из легированного бором монокристалла алмаза и электромагнитная система измерения нановзаимодействия между острием и поверхностью образца. Продемонстрированы трехмерные изображения поверхности золота и кремния после операций наноочистки и наноцарапания. Обсуждены возможности использования алмазного наноинструмента для изготовления элементов наноэлектроники. |
uk_UA |
dc.description.sponsorship |
Автор выражает благодарность С. А. Ивахненко за предоставление легированных бором алмазов для изготовления острия зонда, В. И. Мицкевичу и А. В. Щербакову за содействие в получении представленных результатов. |
uk_UA |
dc.language.iso |
ru |
uk_UA |
dc.publisher |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
uk_UA |
dc.relation.ispartof |
Сверхтвердые материалы |
|
dc.subject |
Получение, структура, свойства |
uk_UA |
dc.title |
Применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента |
uk_UA |
dc.type |
Article |
uk_UA |
dc.status |
published earlier |
uk_UA |
dc.identifier.udc |
548.74:681.723:621.9.02 |
|
Файли у цій статті
Ця стаття з'являється у наступних колекціях
Показати простий запис статті