Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
Інші назви:
Плазмохімічне травлення епітаксійних структур нітріда галію
Plasmochemical etching of epitaxial nitride gallium structures
Plasmochemical etching of epitaxial nitride gallium structures
Тема:
Технологические процессы и оборудование
Посилання:
Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия / А.Г. Борисенко, Б.П. Полозов, О.А. Федорович, Н.С. Болтовец, В.Н. Иванов, Ю.Н. Свешников // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 6. — С. 42-46. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
Дата:
2005
Переглядів:
892
Завантажень:
1036
Анотація:
Описаны особенности технологии травления сложных наноструктур, содержащих эпитаксиальные слои нитрида галлия, нанесенные на подложки из сапфира. Изготовлены высокотемпературные датчики Холла.
