Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs
Інші назви:
Установка електрохімічного профілювання для діагностування епітаксійних структур
The electrochemical profiling arrangement for diagnostics of GaAs semiconductor structures
The electrochemical profiling arrangement for diagnostics of GaAs semiconductor structures
Тема:
Новое технологическое оборудование для микроэлектроники
Посилання:
Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs / Н.М. Вакив, И.Р. Завербный, Д.М. Заячук, С.И. Круковский, И.О. Мрыхин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 3. — С. 40-45. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
Дата:
2005
Переглядів:
681
Завантажень:
609
Анотація:
Описана разработанная установка и методика электрохимического профилирования многослойных эпитаксиальных структур n-GaAs.
