Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Получение и свойства пористого карбида кремния
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Получение и свойства пористого карбида кремния
Інші назви:
Здобування та властивості пористого карбіду кремнію
Reception and properties porous silicon carbide
Reception and properties porous silicon carbide
Тема:
Материалы электроники
Посилання:
Получение и свойства пористого карбида кремния / Л.А. Светличная, Н.Н. Московченко, П.В. Серба // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 53-57. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.
Дата:
2005
Переглядів:
767
Завантажень:
1815
Анотація:
Рассмотрены методы получения пористого карбида кремния, а также влияние режимов травления на морфологию пористого слоя.
