Получение и свойства пористого карбида кремния

dc.contributor.author	Светличная, Л.А.
dc.contributor.author	Московченко, Н.Н.
dc.contributor.author	Серба П.В.
dc.date.accessioned	2014-01-21T20:43:53Z
dc.date.available	2014-01-21T20:43:53Z
dc.date.issued	2005
dc.identifier.citation	Получение и свойства пористого карбида кремния / Л.А. Светличная, Н.Н. Московченко, П.В. Серба // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 53-57. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53530
dc.description.abstract	Рассмотрены методы получения пористого карбида кремния, а также влияние режимов травления на морфологию пористого слоя.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Материалы электроники	uk_UA
dc.title	Получение и свойства пористого карбида кремния	uk_UA
dc.title.alternative	Здобування та властивості пористого карбіду кремнію	uk_UA
dc.title.alternative	Reception and properties porous silicon carbide	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA