Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке
Інші назви:
Спрямована кристалізація силіцидних плівок на кремнієвій підкладці
Directional crystallization of films silicide on silicon substrate
Directional crystallization of films silicide on silicon substrate
Тема:
Технологические процессы и оборудование
Посилання:
Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке / И.В. Белоусов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 54-57. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
Дата:
2007
Переглядів:
737
Завантажень:
501
Анотація:
Рассмотрена кристаллизация силицидной фазы кобальта на поверхности монокристаллического кремния и возможность создания самоформирующихся субмикронных и наноразмерных элементов кремниевых интегральных схем.
