Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке

dc.contributor.author	Белоусов, И.В.
dc.date.accessioned	2014-01-08T19:05:55Z
dc.date.available	2014-01-08T19:05:55Z
dc.date.issued	2007
dc.identifier.citation	Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке / И.В. Белоусов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 54-57. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52879
dc.description.abstract	Рассмотрена кристаллизация силицидной фазы кобальта на поверхности монокристаллического кремния и возможность создания самоформирующихся субмикронных и наноразмерных элементов кремниевых интегральных схем.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Технологические процессы и оборудование	uk_UA
dc.title	Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке	uk_UA
dc.title.alternative	Спрямована кристалізація силіцидних плівок на кремнієвій підкладці	uk_UA
dc.title.alternative	Directional crystallization of films silicide on silicon substrate	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA