Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Перегляд Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2007, № 5 за темою "Технологические процессы и оборудование"

Репозиторій DSpace/Manakin

Перегляд Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2007, № 5 за темою "Технологические процессы и оборудование"

Сортувати за: Порядок: Результатів:

  • Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке 
    Белоусов, И.В. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2007)
    Рассмотрена кристаллизация силицидной фазы кобальта на поверхности монокристаллического кремния и возможность создания самоформирующихся субмикронных и наноразмерных элементов кремниевых интегральных схем.
  • Сравнительный анализ технологий изготовления кремниевых схем считывания информации с ИК-фотодиодов 
    Рева, В.П.; Коринец, С.В.; Писаренко, Л.А.; Духнин, С.Е.; Барсукова, Н.А. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2007)
    Рассмотрены технология комплементарных МОП-схем и технология приборов с зарядовой связью на базе стандартной технологии n-канальных МОП-структур. Приведены параметры схем считывания, изготовленных по этим технологиям.
  • Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров 
    Дружинин, А.A.; Голота, В.И.; Когут, И.Т. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2007)
    Предложен практический способ формирования элементов субмикронных размеров с использованием совмещения с базовыми знаками стандартной проекционной литографии, предварительно созданными на этапе "нулевой" фотолитографии.
  • Ультразвуковая очистка оптико-механических систем 
    Томаль, В.С. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2007)
    Исследованы процессы очистки от загрязнений оптико-механических систем различными видами функциональных покрытий и разработан процесс ультразвуковой очистки, обеспечивающий высокую ее эффективность.

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис