Сравнительный анализ технологий изготовления кремниевых схем считывания информации с ИК-фотодиодов

Сравнительный анализ технологий изготовления кремниевых схем считывания информации с ИК-фотодиодов

Рева, В.П. ; Коринец, С.В. ; Писаренко, Л.А. ; Духнин, С.Е. ; Барсукова, Н.А.

Інші назви: Порівняльний аналіз технологій виготовлення кремнієвих схем зчитування інформації з ІЧ-фотодіодів
The technologies of manufacture silicon readout devices for IR sensor, comparative analysis

Тема: Технологические процессы и оборудование

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52877

Посилання: Сравнительный анализ технологий изготовления кремниевых схем считывания информации с ИК-фотодиодов / В.П. Рева, С.В. Коринец, Л.А. Писаренко, С.Е. Духнин, Н.А. Барсукова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 46-49. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Дата: 2007

Завантажень: 555

Сравнительный анализ технологий изготовления кремниевых схем считывания информации с ИК-фотодиодов

Анотація:

Рассмотрены технология комплементарных МОП-схем и технология приборов с зарядовой связью на базе стандартной технологии n-канальных МОП-структур. Приведены параметры схем считывания, изготовленных по этим технологиям.

Показати повний запис статті