Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
Інші назви:
Вплив вихідних дефектів на розподіл механічних напруг и деформацій при окиснені кремнія
The influence of initial defects on mechanical stress and deformation distribution in oxidized silicon
The influence of initial defects on mechanical stress and deformation distribution in oxidized silicon
Тема:
Материалы электроники
Посилання:
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния / О.А. Кулинич, В.А. Смынтына, М.А. Глауберман, Г.Г. Чемересюк, И.Р. Яцунский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 62-64. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
Дата:
2008
Переглядів:
888
Завантажень:
692
Анотація:
Показано, каким образом дефекты исходного кремния влияют на структурные изменения поверхности и приповерхностной области в процессе высокотемпературного окисления.
