Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Испаритель для термического напыления материалов в вакууме
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Испаритель для термического напыления материалов в вакууме
Інші назви:
Випарник для термічного напилення матеріалів у вакуумі
Evaporator for thermal vacuum deposition of materials
Evaporator for thermal vacuum deposition of materials
Тема:
Технологические процессы и оборудование
Посилання:
Испаритель для термического напыления материалов в вакууме / В.И. Босый, В.П. Кохан, Н.М. Рахманов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 56-57. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.
Дата:
2008
Переглядів:
790
Завантажень:
691
Анотація:
Разработан испаритель оригинальной конструкции, предназначенный для термического распыления материалов в технологических процессах изготовления СВЧ-транзисторов, диодов и монолитных схем.
