Испаритель для термического напыления материалов в вакууме

dc.contributor.author	Босый, В.И.
dc.contributor.author	Кохан, В.П.
dc.contributor.author	Рахманов, Н.М.
dc.date.accessioned	2014-01-03T23:22:38Z
dc.date.available	2014-01-03T23:22:38Z
dc.date.issued	2008
dc.identifier.citation	Испаритель для термического напыления материалов в вакууме / В.И. Босый, В.П. Кохан, Н.М. Рахманов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 56-57. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52490
dc.description.abstract	Разработан испаритель оригинальной конструкции, предназначенный для термического распыления материалов в технологических процессах изготовления СВЧ-транзисторов, диодов и монолитных схем.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Технологические процессы и оборудование	uk_UA
dc.title	Испаритель для термического напыления материалов в вакууме	uk_UA
dc.title.alternative	Випарник для термічного напилення матеріалів у вакуумі	uk_UA
dc.title.alternative	Evaporator for thermal vacuum deposition of materials	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA