Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем
Інші назви:
Дифузія фосфору з використанням твердого планарного джерела у виробництві інтегральних схем
Phosphorus diffusion with the help of the solid planar source in the manufacturing of the integrated circuit
Phosphorus diffusion with the help of the solid planar source in the manufacturing of the integrated circuit
Тема:
Технологические процессы и оборудование
Посилання:
Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем / Б.А. Шангереева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 1. — С. 54-56. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.
Дата:
2008
Переглядів:
874
Завантажень:
642
Анотація:
Полученные оптимальные технологические режимы процесса диффузии фосфора с применением твердого планарного источника позволяют получать транзисторы с улучшенными электрофизическими характеристиками.
