Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
Інші назви:
Закономірності формування пучка іонів низької енергії за допомогою односітчастої іонно-оптичної системи
Principles of low energy ion beam formation in single-grid ion optical system
Principles of low energy ion beam formation in single-grid ion optical system
Тема:
Технологические процессы и оборудование
Посилання:
Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 42-45. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
Дата:
2009
Переглядів:
781
Завантажень:
396
Анотація:
Обнаружено два режима извлечения ионов: пучковый и плазменный, переход между которыми происходит при некотором критическом потенциале плазмы в источнике.
