Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы

Репозиторій DSpace/Manakin

Показати простий запис статті

dc.contributor.author Дудин, С.В.
dc.contributor.author Рафальский, Д.В.
dc.date.accessioned 2013-12-29T22:19:03Z
dc.date.available 2013-12-29T22:19:03Z
dc.date.issued 2009
dc.identifier.citation Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 42-45. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. uk_UA
dc.identifier.issn 2225-5818
dc.identifier.uri http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52330
dc.description.abstract Обнаружено два режима извлечения ионов: пучковый и плазменный, переход между которыми происходит при некотором критическом потенциале плазмы в источнике. uk_UA
dc.language.iso ru uk_UA
dc.publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України uk_UA
dc.relation.ispartof Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject Технологические процессы и оборудование uk_UA
dc.title Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы uk_UA
dc.title.alternative Закономірності формування пучка іонів низької енергії за допомогою односітчастої іонно-оптичної системи uk_UA
dc.title.alternative Principles of low energy ion beam formation in single-grid ion optical system uk_UA
dc.type Article uk_UA
dc.status published earlier uk_UA


Файли у цій статті

Ця стаття з'являється у наступних колекціях

Показати простий запис статті

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис