Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала
Тема:
Депонированные рукописи
Посилання:
Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала / Я.С. Буджак, С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 62. — рос.
Дата:
1998
Переглядів:
647
Завантажень:
231
Анотація:
Разработана технология формирования тонкопленочных конденсаторов на основе базовых слоев β-тантала ионным распылением танталовой мишени при одновременном легировании элементами Iб, IIб, III, IV, Vа, VIа, VIIа, VIIIа Периодической системы. Такие тонкопленочные элементы конденсаторов могут быть использованы при формировании структур активных RC-фильтров и динамических оперативных запоминающих устройств произвольной выборки.
