Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала

Репозиторій DSpace/Manakin

Показати простий запис статті

dc.contributor.author Буджак, Я.С.
dc.contributor.author Новосядлый, С.П.
dc.date.accessioned 2018-07-15T11:48:25Z
dc.date.available 2018-07-15T11:48:25Z
dc.date.issued 1998
dc.identifier.citation Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала / Я.С. Буджак, С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 62. — рос. uk_UA
dc.identifier.issn 2225-5818
dc.identifier.uri http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140787
dc.description.abstract Разработана технология формирования тонкопленочных конденсаторов на основе базовых слоев β-тантала ионным распылением танталовой мишени при одновременном легировании элементами Iб, IIб, III, IV, Vа, VIа, VIIа, VIIIа Периодической системы. Такие тонкопленочные элементы конденсаторов могут быть использованы при формировании структур активных RC-фильтров и динамических оперативных запоминающих устройств произвольной выборки. uk_UA
dc.language.iso ru uk_UA
dc.publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України uk_UA
dc.relation.ispartof Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject Депонированные рукописи uk_UA
dc.title Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала uk_UA
dc.type Article uk_UA
dc.status published earlier uk_UA


Файли у цій статті

Ця стаття з'являється у наступних колекціях

Показати простий запис статті

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис