Інші назви:Геттерування домiшкiв та дефектiв у системнiй технологiї мiкроелектронiки ВIС Impurities and defects gettering in system technology of LSIC microelectronics
Посилання:Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 2. — С. 39. — рос.