Based on the three parametric Lorenz system, a model was developed that permits to describe the behavior of the plasma-condensate system near phase equilibrium in a self-consistent way. Considering the effect of fluctuations of the growth surface temperature, the evolution equation and the corresponding Fokker-Planck equation were obtained. The phase diagram is built which determines the system parameters corresponding to the regime of the porous structure formation.
На основi трипараметричної системи Лоренца була розвинена модель, що дозволяє самоузгодженим чином описати поведiнку системи плазма-конденсат поблизу фазової рiвноваги. Враховуючи вплив флуктуацiй температури ростової поверхнi, були знайденi рiвняння еволюцiї та вiдповiдне рiвняння Фоккера-Планка. Побудована фазова дiаграма, на основi якої визначенi параметри системи, якi вiдповiдають режимовi утворення пористих структур.