Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення фізики і астрономії
→
Металлофизика и новейшие технологии
→
Металлофизика и новейшие технологии, 2016 (том 38)
→
Металлофизика и новейшие технологии, 2016, № 06
→
Переглянути статтю

Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния

Коломиец, В.Н. ; Кононенко, И.Н. ; Кравченко, С.Н. ; Захарец, М.И. ; Сторижко, В.Е. ; Возный, В.И. ; Бугай, А.Н. ; Девизенко, А.Ю.

Інші назви: Визначення товщини шарів багатошарових періодичних покриттів методом резерфордівського зворотного розсіювання
Determination of a Thickness of Layers of Multilayer Periodic Coatings by a Method of the Rutherford Backscattering

Тема: Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом

Інший ID: PACS: 29.30.Ep, 34.50.-s, 61.05.cf, 61.05.cp, 68.55.J-, 81.15.Cd, 82.80.Yc
DOI: 10.15407/mfint.38.06.0815

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112579

Посилання: Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния / В.Н. Коломиец, И.Н. Кононенко, С.Н. Кравченко, М.И. Захарец, В.Е. Сторижко, В.И. Возный, А.Н. Бугай, А.Ю. Девизенко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 6. — С. 815-823. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Дата: 2016

Завантажень: 485

Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния

Анотація:

Методом резерфордовского обратного рассеяния были определены толщины слоёв кобальта и углерода в многослойном периодическом покрытии [Со/С]₁₀, изготовленном методом магнетронного распыления. Полученные результаты хорошо согласуются (расхождение менее 6%) с толщинами слоёв из моделирования измеренного спектра малоугловой рентгеновской дифракции покрытия.

Методою Резерфордового зворотнього розсіяння було визначено товщини шарів кобальту та вуглецю у багатошаровому періодичному покритті [Со/С]₁₀, виготовленому методою магнетронного розпорошення. Одержані результати добре узгоджуються (розбіжність менше 6%) з товщиною шарів за даними моделювання виміряного спектру малокутової рентґенівської дифракції покриття.

The periodic multilayer [Со/С]₁₀ coating is deposited by means of the magnetron sputtering. The thicknesses of the cobalt and carbon layers are determined by the Rutherford backscattering (RBS) method. These results are in a good agreement (with divergence less than 6%) with results of simulation of small-angle X-ray diffraction.

Показати повний запис статті