Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
| dc.contributor.author | Коломиец, В.Н. | |
| dc.contributor.author | Кононенко, И.Н. | |
| dc.contributor.author | Кравченко, С.Н. | |
| dc.contributor.author | Захарец, М.И. | |
| dc.contributor.author | Сторижко, В.Е. | |
| dc.contributor.author | Возный, В.И. | |
| dc.contributor.author | Бугай, А.Н. | |
| dc.contributor.author | Девизенко, А.Ю. | |
| dc.date.accessioned | 2017-01-23T17:19:31Z | |
| dc.date.available | 2017-01-23T17:19:31Z | |
| dc.date.issued | 2016 | |
| dc.identifier.citation | Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния / В.Н. Коломиец, И.Н. Кононенко, С.Н. Кравченко, М.И. Захарец, В.Е. Сторижко, В.И. Возный, А.Н. Бугай, А.Ю. Девизенко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 6. — С. 815-823. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. | uk_UA |
| dc.identifier.issn | 1024-1809 | |
| dc.identifier.other | PACS: 29.30.Ep, 34.50.-s, 61.05.cf, 61.05.cp, 68.55.J-, 81.15.Cd, 82.80.Yc | |
| dc.identifier.other | DOI: 10.15407/mfint.38.06.0815 | |
| dc.identifier.uri | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112579 | |
| dc.description.abstract | Методом резерфордовского обратного рассеяния были определены толщины слоёв кобальта и углерода в многослойном периодическом покрытии [Со/С]₁₀, изготовленном методом магнетронного распыления. Полученные результаты хорошо согласуются (расхождение менее 6%) с толщинами слоёв из моделирования измеренного спектра малоугловой рентгеновской дифракции покрытия. | uk_UA |
| dc.description.abstract | Методою Резерфордового зворотнього розсіяння було визначено товщини шарів кобальту та вуглецю у багатошаровому періодичному покритті [Со/С]₁₀, виготовленому методою магнетронного розпорошення. Одержані результати добре узгоджуються (розбіжність менше 6%) з товщиною шарів за даними моделювання виміряного спектру малокутової рентґенівської дифракції покриття. | uk_UA |
| dc.description.abstract | The periodic multilayer [Со/С]₁₀ coating is deposited by means of the magnetron sputtering. The thicknesses of the cobalt and carbon layers are determined by the Rutherford backscattering (RBS) method. These results are in a good agreement (with divergence less than 6%) with results of simulation of small-angle X-ray diffraction. | uk_UA |
| dc.language.iso | ru | uk_UA |
| dc.publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України | uk_UA |
| dc.relation.ispartof | Металлофизика и новейшие технологии | |
| dc.subject | Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом | uk_UA |
| dc.title | Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния | uk_UA |
| dc.title.alternative | Визначення товщини шарів багатошарових періодичних покриттів методом резерфордівського зворотного розсіювання | uk_UA |
| dc.title.alternative | Determination of a Thickness of Layers of Multilayer Periodic Coatings by a Method of the Rutherford Backscattering | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |
| dc.status | published earlier | uk_UA |
