Элементный состав и морфология поверхности (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N наноструктурного покрытия

Abstract

Приведены результаты экспериментальных исследований нитридного покрытия на основе (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N высокоэнтропийного сплава. Обнаружено формирование твердого раствора на основе кубической решетки типа NaCl. Применение взаимодополняющих методик микроанализа (RBS, EDS, SIMS и GDMS) позволило провести как количественный, так и качественный анализ химического состава покрытия.

Приведені результати експериментальних досліджень нітридного покриття на основі (Ti-Hf-Zr-V-Nb) N високоентропійного сплаву. Виявлено формування твердого розчину на основі кубічної решітки типу NaCl. Застосування взаємодоповнюючих методик мікроаналізу (RBS, EDS, SIMS і GDMS) дозволило провести як кількісний, так і якісний аналіз хімічного складу.

The results of experimental studies of nitride coating (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N, based on the high-entropy alloy are given. The formation of solid solution, based on cubic lattice type of NaCl was found. The application of the complementary microanalysis techniques (RBS, EDS, SIMS and GDMS) allowed to carry out both quantitative and qualitative analysis of the chemical composition of the coating.