Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення фізики і астрономії
→
Металлофизика и новейшие технологии
→
Металлофизика и новейшие технологии, 2013 (том 35)
→
Металлофизика и новейшие технологии, 2013 (том 35), № 12
→
Переглянути статтю

Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц

Першин, Ю.П. ; Севрюкова, В.А. ; Зубарев, Е.Н. ; Оберемок, А.С. ; Мельник, В.П. ; Романюк, Б.Н. ; Попов, В.Г. ; Литвин, П.М.

Інші назви: Investigation of the Phase Interfaces in Periodic Multilayer Mo/Si Structures, Using the Method of Mass-Spectrometry of Neutral Particles

Тема: Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов

Інший ID: PACS numbers: 06.20.fb, 07.85.Fv, 68.37.Ps, 68.49.Sf, 68.55.Nq, 82.80.Ms

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/104262

Посилання: Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц / Ю.П. Першин, В.А. Севрюкова, Е.Н. Зубарев, А.С. Оберемок, В.П. Мельник, Б.Н. Романюк, В.Г. Попов, П.М. Литвин // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 12. — С. 1617-1627. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.

Дата: 2013

Завантажень: 411

Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц

Анотація:

Исследованы многослойные периодические структуры Мо/Si методами малоугловой рентгеновской дифракции, атомно-силовой микроскопии и масс-спектрометрии постионизированных нейтральных частиц.

Досліджено багатошарові періодичні структури Мо/Si методами малокутової Рентґенової дифракції, атомово-силової мікроскопії та масспектрометрії постйонізованих нейтральних частинок.

The Mo/Si multilayer periodic structures are investigated by a small-angle X-ray diffraction, atomic-force microscopy, and secondary neutral mass spectrometry.

Показати повний запис статті