Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
| dc.contributor.author | Першин, Ю.П. | |
| dc.contributor.author | Севрюкова, В.А. | |
| dc.contributor.author | Зубарев, Е.Н. | |
| dc.contributor.author | Оберемок, А.С. | |
| dc.contributor.author | Мельник, В.П. | |
| dc.contributor.author | Романюк, Б.Н. | |
| dc.contributor.author | Попов, В.Г. | |
| dc.contributor.author | Литвин, П.М. | |
| dc.date.accessioned | 2016-07-06T15:21:27Z | |
| dc.date.available | 2016-07-06T15:21:27Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.identifier.citation | Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц / Ю.П. Першин, В.А. Севрюкова, Е.Н. Зубарев, А.С. Оберемок, В.П. Мельник, Б.Н. Романюк, В.Г. Попов, П.М. Литвин // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 12. — С. 1617-1627. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. | uk_UA |
| dc.identifier.issn | 1024-1809 | |
| dc.identifier.other | PACS numbers: 06.20.fb, 07.85.Fv, 68.37.Ps, 68.49.Sf, 68.55.Nq, 82.80.Ms | |
| dc.identifier.uri | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/104262 | |
| dc.description.abstract | Исследованы многослойные периодические структуры Мо/Si методами малоугловой рентгеновской дифракции, атомно-силовой микроскопии и масс-спектрометрии постионизированных нейтральных частиц. | uk_UA |
| dc.description.abstract | Досліджено багатошарові періодичні структури Мо/Si методами малокутової Рентґенової дифракції, атомово-силової мікроскопії та масспектрометрії постйонізованих нейтральних частинок. | uk_UA |
| dc.description.abstract | The Mo/Si multilayer periodic structures are investigated by a small-angle X-ray diffraction, atomic-force microscopy, and secondary neutral mass spectrometry. | uk_UA |
| dc.language.iso | ru | uk_UA |
| dc.publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України | uk_UA |
| dc.relation.ispartof | Металлофизика и новейшие технологии | |
| dc.subject | Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов | uk_UA |
| dc.title | Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц | uk_UA |
| dc.title.alternative | Investigation of the Phase Interfaces in Periodic Multilayer Mo/Si Structures, Using the Method of Mass-Spectrometry of Neutral Particles | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |
| dc.status | published earlier | uk_UA |
