Изучен процесс газовыделения в вакууме из покрытий нитрида титана, нанесенных на подложки из нержавеющей стали (SS) при помощи двух различных технологий: с подачей высоковольтных импульсов отрицательной полярности и без таковых.
Вивчено процес газовиділення у вакуумі з покриттів нітриду титану, нанесених на підкладки з неіржавіючої сталі (SS) за допомогою двох різних технологій: з подачею високовольтних імпульсів негативної полярності і без таких.
The process was examined of outgassing in vacuum from titanium nitride coatings deposited on stainless steel (SS) substrates with help of two different technologies: with input on substrate of high voltage negative pulses and without of the ones.